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モデル20020023の金の蒸着膜周辺に下の右の写真の様な細かな穴が多数確認されました。 周辺より内側は写真左の様に穴は見られません。 何故穴が出来たのでしょうか? 使用に当たって問題は無いでしょうか? |
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結晶の成長は温度に非常に敏感です。フィルムの端にある細孔が生ずる原因は金の蒸着中に生ずる熱環境が中央部と端部とで違いが生じるためと考えられます。 蒸着膜の中央では、熱が全ての方向に同じように流れるため、温度は全ての方向で均一ですが、端部では熱条件は中央部とは違います。また周辺部では近くにマスクが存在するため、ターゲットからの金の分子の付着が阻害される事も考えられます。つまり中央部では金の薄膜は予定通りの厚さになりますが、周辺部ではこれより薄くなる傾向にあります。このため周辺部では、均一の膜になる手前の状態、すなわち細孔が存在する状態で、蒸着作業終了となります。
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