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高真空下での金表面の洗浄 |
お客様によっては水素炎アニーリングを実行出来ない場合があるようです。その場合はl高真空下で加熱して金の表面を洗浄する事が可能です。 この場合、メーカーでは加熱温度が最高400度を超えない事を推奨しています。 但し、お客様の中では400℃を越えてアルゴンイオン衝撃を与える方が居られます。 宜しければ、その方の文献をこちらからご参考下さい。 。 |
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